金マイクロミラー形成のための成形・接合用ツールの作製と評価

抄録

金マイクロロッドを成形と同時に低温接合することにより、任意の基板に金マイクロミラーを形成する手法の開発を進めている。この手法において、成形・接合用ツールの形状と表面粗さはマイクロミラーの性能を決める重要なパラメータである。シリコンやガラスウェハからダイシングやエッチングによりV型の溝を掘り、各種条件で表面粗さを評価した。