HSTパルス駆動方式による門形平面研削盤テーブルの精密位置決め

抄録

平面研削盤のテーブル軸切り込みの実現を目指し油圧シリンダを電動サーボモータで駆動されるＨＳＴシステムを用いて速度指令に間欠的な速度パルスを与えることにより慣性質量2tonのテーブルを静止摩擦2kN以上の条件にてサブミクロンの位置決め精度が得られたので紹介する。