精密ガラス成形加工技術「スランピング法」に及ぼす金型表面粗さの影響

抄録

近年，光学部品に求められる精度は高くなっており，特に宇宙工学等で使用されるような特殊製品では，大型でありながらナノメートルオーダーの高い精度が要求されている．従来の研究では，ガラスを熱軟化成形する「スランピング法」について，金型製作技術を中心とした検討を行なってきた．本報告では，精密研磨加工された金型を用いたスランピング法において，金型の表面性状が成形ガラスの精度に及ぼす影響について報告する．