小型かつ色収差の無い高分解能結像型X線顕微鏡の開発

山田 純平; 松山 智至; 波多 健太郎; 萩原 拓; 佐野 泰久; 香村 芳樹; 矢橋 牧名; 石川 哲也; 山内 和人

doi:10.11522/pscjspe.2018A.0_678

2018年度精密工学会秋季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2018A.0_678

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主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2018年度精密工学会秋季大会

開催地: 函館アリーナ

開催日: 2018/09/05 - 2018/09/07

小型かつ色収差の無い高分解能結像型X線顕微鏡の開発

*山田純平, 松山智至, 波多健太郎, 萩原拓, 佐野泰久, 香村芳樹, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

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キーワード: X線ミラー, X線顕微鏡

会議録・要旨集フリー

p. 678-679

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抄録

X線ミラーは高反射率，色収差無し等の点で優れたX線光学素子である．我々は凹・凸面から構成される光学配置を持つ独自のX結像ミラーを提案・作製し，実験室規模の結像型X線顕微鏡の開発を行ってきた．本講演では結像ミラーの作製結果およびX線形状計測法を応用したミラー評価結果と，実際に取得した2次元拡大X線像について報告する．

責任著者(Corresponding author)

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