大気圧下におけるプラズマ生成と薄膜作製プロセスへの応用

抄録

大気圧プラズマは，既に実用化されている減圧プラズマに代わる新たなプラズマ源として注目され，高能率かつ低コストの材料プロセスの実現を目指して活発に研究が行われている．本キーノートでは，安定・均一は大気圧プラズマ（大気圧下でのグロー放電）の生成の概念とその応用に関し，我々の研究例などをもとに説明する．