メッシュ状マイクロニードルのための多波長逐次露光型移動マスク露光

抄録

熱インプリントによりメッシュ状マイクロニードルパッチを作製する際に、メッシュ部分の形状が一定しないという問題があった。本研究では移動マスク露光と複数波長逐次露光を併用することで、メッシュ部分の形状の維持を目的としたメッシュ状支持部を持ったフォトレジスト製のマイクロニードルを作製した。