大気圧プラズマジェット照射可能な走査型ナノピペットプローブ顕微鏡を用いたシリコン酸化物の局所堆積法の開発

抄録

近年、大気圧プラズマジェット（APPJ）が大気圧下・低温駆動等の特徴から大きな注目を集めている。我々はサブミクロンの開口を有するガラス管（ナノピペット）をAPPJのノズルと走査型プローブ顕微鏡の探針の両方に用いた微細加工装置を開発している．本研究ではAPPJにHMDSを添加することで、シリコン酸化物をサブミクロンスケールで堆積させる新規な微細加工手法を開発した。本手法を用いて加工量の制御に取り組んだ結果について報告する．