直接位相検出による正弦波周波数/位相変調変位計測干渉計での高分解能化の試み

抄録

以前は、正弦波周波数変調を適応した光干渉計を用いリサージュダイアグラムにより変位を計測していた。位相補間によって波長以下の分解能となるが、逆正接が0となる1/4波長周期で誤差が発生、位相ノイズにより分解能は制限される。本研究では、直接位相検出による変位計測法を提案している。零位法により、高精度に位相を得られ、分解能向上に有効である。本報では、提案手法を実際の干渉計に適応した変位計測について報告する。