精密工学会学術講演会講演論文集
2018年度精密工学会春季大会
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構造化照明顕微法における試料回転とその効果の検証
柴田 岳*臼杵 深三浦 憲二郎
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p. 161-162

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抄録

我々は,工業利用を目的として,低コヒーレンス干渉を利用した構造化照明顕微法の開発を行っている.本研究では,試料を回転させることにより,構造化照明の相対的な方位を変化させ,2次元的に空間分解能を向上させることを提案する.また,試料の回転により,構造化照明の相対的ピッチを長くすることができるため,低NAの対物レンズの場合に起こりうる空間周波数の欠落の問題を解決することが可能となる.

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© 2018 公益社団法人 精密工学会
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