汎用レーザーキャビテーションバブルを用いた熱硬化性ポリマーの微細加工

抄録

汎用レーザーキャビテーションバブルを用いた熱硬化性樹脂PDMSの表面微細加工について述べる。液中にレーザーを集光照射することでキャビテーションバブルが生成することが知られている。よって、本講演では、硬化前のPDMSにナノ秒レーザーを集光照射することでキャビテーションバブルを生成し、その後、熱処理を行うことによりPDMSの表面微細加工を実現する。本講演では、本加工技術の確立およびその基本特性について述べる。