歪レスを実現する単結晶SiC刀具の開発

抄録

我々は素材を加工歪なく加工することを実現するために、鋭利化されたSiC刀具を開発した。SiC刀具は単結晶であり人工的に大型刃物を実現することが出来、かつSiCの電子状態由来の被加工物との化学反応性の低さを利用して、歪み極小加工が実現可能と考えている。今回はその加工の実現のための鋭利化とその鋭利化のために開発した固体CMP砥石を用いた刀具加工について述べる。