主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2018年度精密工学会春季大会
開催地: 中央大学
開催日: 2018/03/15 - 2018/03/17
p. 383-384
ナノスケールでの効率的な熱制御構造の設計をすべく,我々は金属薄膜材料表面に生じる熱励起エバネッセント波の観測を行っている.この電磁波は外部照射光によって埋もれてしまうため,観測にはパッシブ型THz近接場顕微鏡を用いている.本研究では薄膜材料の厚さを変更した際の近接場信号強度および電気的特性の変化を実験と理論により調査・解析を行ったので報告する.