寒天に付与したマイクロピッチ格子の変形を用いる微小分布力センサの開発

MEMS加工によるSi鋳型の作製，蚊の穿刺力の測定

抄録

生物の発生した微小な力を分布力として測定する技術が注目されている．我々は弾性体にマイクロピッチの格子を設け，力を受けた際の格子の歪み分布を画像処理し，分布力を測定するセンサを提案した．本研究は，MEMS技術による作製したシリコンの鋳型を用い，シリコーンゴムにパターンを転写した．次に，シリコーンゴムを型として使用し，寒天（イナアガー）に格子パターンを付与し，蚊の穿刺穿刺力を測定した．