微小ガラス穴加工と内側形状の解析

小川 昭; 高橋 武則; 樋口 英一

doi:10.11522/pscjspe.2018S.0_595

2018年度精密工学会春季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2018S.0_595

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2018年度精密工学会春季大会

開催地: 中央大学

開催日: 2018/03/15 - 2018/03/17

微小ガラス穴加工と内側形状の解析

*小川昭, 高橋武則, 樋口英一

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キーワード: 加工, 微小ガラス穴, 3次元形状, レプリカ法, 間接測定

会議録・要旨集フリー

p. 595-596

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抄録

本研究では直径1mmのダイヤモンドコアドリルを使用した微小ガラス穴加工とその内側形状の解析を取りあげる．ガラス穴形状はレプリカに転写し，これを非接触3次元測定機で測定した．得られたデータについてレプリカの転写性を考慮したうえで，ドリルを含む加工条件と内側形状との間の応答関係を解析した結果，穴形状の縦軸方向と円周方向で幾つかの特徴的な結果が得られた．

責任著者(Corresponding author)

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