摩擦駆動減速機と空気静圧軸受を用いた関節機構の回転角位置決め精度

第2報　アプローチ段階における動作特性の改善

抄録

空気静圧軸受と摩擦駆動減速機を用いた関節機構により構成される高精度水平多関節型機構を提案している．本機構では，空気軸受の振動減衰性の低さと軸間を結合する軸継手の低剛性によりアプローチ段階における動作が振動的であった．そこで回転角度制御系を多重ループ化して動作特性を改善した結果，目標角度10degの回転角位置決めに対して，アーム先端での繰り返し位置決めの再現性をサブミクロンレベルまで低減した．