小径ステンレス管表面への網目パターンの均一形成

抄録

精密機械部品等を加工するため、線幅10～500µmのパターン形成を、リソグラフィにより円柱面上に行いたいというニーズがある。そのため、平面レチクルを円筒試料軸と垂直な方向に一定速度で移動するのに同期して試料を360度回転させ、円周全面に投影露光する装置を開発し、改良を重ねた。外径2mm、肉厚50µmの薄肉ステンレス管表面に網目状パターンを平均線幅186µm、線幅ばらつき±5.5%で形成できた。