凝縮性ガス下でのナノインプリントにおけるモールド全域の樹脂の充填観察

抄録

ナノインプリントは低コストでナノ構造を作製可能であり、MEMS、半導体、偏光子などのパターニング技術として期待されている。しかしながら、ナノインプリント時の気泡（未充填欠陥）の発生は、量産化に向けた課題となっている。本研究では、暗視野照明を用いてナノインプリントモールド全域の樹脂充填の評価を行った。凝縮性ガスとヘリウム雰囲気でナノインプリントした際の気泡発生の仕方や充填性の違いについて検証を行った。