磁気吸引力を利用した可撓支持微動テーブルの開発（第2報） 2軸駆動装置の開発と性能評価

田丸 雄摩; 河田 謙介; 清水 浩貴

doi:10.11522/pscjspe.2019A.0_351

2019年度精密工学会秋季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2019A.0_351

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2019年度精密工学会秋季大会

開催地: 静岡大学

開催日: 2019/09/04 - 2019/09/06

磁気吸引力を利用した可撓支持微動テーブルの開発（第2報）

2軸駆動装置の開発と性能評価

*田丸雄摩, 河田謙介, 清水浩貴

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キーワード: 2軸位置決め, 可撓支持, 磁気吸引力制御, 摺動摩擦フリー, 弾性ヒンジ

会議録・要旨集フリー

p. 351-352

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抄録

摺動摩擦を排除して高精度位置決めを達成するために永久磁石と電磁石を対にした磁気吸引力を利用する微動テーブルを提案している．前報では1軸の装置開発と性能について発表した．今回，1軸装置と同様に吸引力の較正や可撓機構の剛性見積を行って印加電流と変位の関係を予測し，新たに2軸駆動の装置を開発した．X，Y各軸の長ストロークと高分解能および2対の吸引力調整による両者連係での微動性能について報告する．

責任著者(Corresponding author)

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