C₂F₄のオンサイト生成に向けた準大気圧プラズマによるCF₄ガス改質特性の評価

抄録

C₂F₄ガスは、フルオロカーボン薄膜の成膜プリカーサ、ならびにドライエッチングにおけるエッチャントガスとして幅広い利用が期待されている。一方、強い重合性をもつC₂F₄ガスは高圧充填による供給ができないため、プロセスの現場に大量ストックすることが難しく、必要時、必要量だけオンサイト生成する技術が必要となっている。本研究では、最も廉価なPFCガスであるCF₄を用い準大気圧プラズマによるガス改質を試み、その特性を調査した。