2019年度精密工学会秋季大会
会議情報
主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2019年度精密工学会秋季大会
開催地: 静岡大学
開催日: 2019/09/04 - 2019/09/06
中性子集光用高精度Wolterミラーマンドレルの作製（第7報）
PCVM加工における熱流入由来の加工量誤差の補正
p. 695
詳細
主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2019年度精密工学会秋季大会
開催地: 静岡大学
開催日: 2019/09/04 - 2019/09/06
p. 695
我々は大気圧マイクロ波プラズマジェットを用いたNC-PCVMによる，中性子顕微鏡用Wolterミラーの作製に取り組んでいる．PCVMは化学的な加工法であるため，加工速度は表面温度に依存する．マンドレルは先細り形状の合成石英棒であるため，プラズマ照射時の温度上昇は先端ほど大きく，加工速度の上昇分を照射時間で補正する必要がある．本報ではプラズマの照射時間補正後にマンドレルを形状修正した結果を報告する．
