回転ウエハー上のPVAブラシ変形挙動観察

抄録

本研究ではナノ粒子の最適な洗浄方法の提案を目的とし、回転ウエハー上で回転するPVAブラシの相対運動をプリズム上で再現し、全反射光学装置を用いて接触面の観察を行った。その結果、３種類の接触パターンを確認することができ、それぞれ観察結果から変形を推測しモデル化を行った。また、それぞれの変形はウエハーとノジュールの接触時の相対速度に依存するということが分かった。