CMPプロセスのモデル化と装置のインプロセスデータを利用した状態量推定

抄録

CMPプロセスの高度化を実現するモデルベース技術を開発する．提案手法では，プレストン則が成立する仮定の下，摩擦係数の動的・空間的変化とプレストン係数との相関をモデル化する．研磨トルクおよび研磨レートの線形関係式に基づき，装置から取得可能なインプロセスデータを用いて，モデルパラメータの同定とプロセスの状態変化を推定することができる．研磨実験を通じて研磨トルクと研磨レートを推定可能であることを確認した．