非等分割偏光変換素子を用いたフェムト秒レーザ加工による微小四角穴の形成

抄録

フェムト秒レーザビームの偏光配置を４回対称のクロス偏光にすることで、微小な四角穴加工が可能になる。クロス偏光ビームを生成するために30°と60°の頂角をもつ1/2波長板を組み合わせた偏光変換素子を採用することで、ビームの照射側と貫通側の両方で四角形状が得られる穴加工を実現した。1/2波長板の頂角調整によって集光ビームの強度分布を丸みを帯びた四角形にし、偏光配置によって四角穴の角部を先鋭化する。