圧電素子で駆動するマイクロ移動ロボットの変位特性

抄録

圧電素子と電磁石を用いて微小動作する小型ロボットを開発してきた。製作したロボットは多自由度位置決め装置への応用を目指している。駆動源である圧電素子に使用する電圧波形によってロボットの1ステップあたりの変位量が変化することが分かった。本研究では、波形を変更したときのロボットの変位量を測定し、その差異を明らかにした。