極低温環境用圧電振動子の予圧印加機構に関する検討

抄録

圧電材料は一般的に極低温環境において圧電定数が著しく低下する傾向がある。極低温環境で使用するアクチュエータの駆動源として圧電素子を使用するためには、温度環境を考慮した予圧を印加し、振動子として使用する必要がある。本研究では温度変化による熱膨張係数の違いに着目し、ボルト締めなどの構造を用いない新たな予圧印加機構の考案を行い試作・評価を行った。