蛍光プローブを用いたナノ粒子粒径計測に関する研究 第8報　ナノ粒子の粒径と並進拡散係数の関係の評価

平野 友裕; 林 照剛; 黒河 周平

doi:10.11522/pscjspe.2020A.0_320

2020年度精密工学会秋季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2020A.0_320

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2020年度精密工学会秋季大会

開催地: オンライン開催

開催日: 2020/09/01 - 2020/09/07

蛍光プローブを用いたナノ粒子粒径計測に関する研究

第8報　ナノ粒子の粒径と並進拡散係数の関係の評価

*平野友裕, 林照剛, 黒河周平

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キーワード: ナノ粒子, 粒度測定, ブラウン運動, CMP, 蛍光光子相関法

会議録・要旨集フリー

p. 320-321

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抄録

蛍光光子相関法(FCS)は，液中でブラウン運動をしている蛍光プローブから発せられる蛍光信号の強度の時間変化を測定することで動的特性を観察する測定法である．本稿では，FCSを⽤いた粒径計測の基礎実験として，異なる粒径のナノ粒⼦の並進拡散時間の測定結果から並進拡散係数を算出し，粒径と並進拡散係数の線型性を調べた．

責任著者(Corresponding author)

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