RIEによるプラスチックレンズへの反射防止構造（ARS）付与

抄録

プラスチックレンズに代表される光学部品の反射を低減させる方法として反射防止構造(ARS)が近年注目されている. ARSは微細構造体を光のサブ波長周期で配列させたもので, 射出成形等の複製による生産を考えた場合, 成形転写の難易度の高さが課題となってきた. 今回, 反応性イオンエッチング(RIE)を巧みに用いる事により, 狭ピッチで高アスペクトなARSをプラスチックレンズに付与する事に成功したので報告する.