高速原子間力顕微鏡を用いた銀ナノワイヤーのマニピュレーション精度の向上

抄録

単一の銀ナノワイヤーをナノスケールで基板上に位置決め配置できる技術はプラズモン導波路の基礎研究やデバイス試作において有用である．我々は高速原子間力顕微鏡によって，基板上のナノ材料を観察しながら所望の位置まで移動・位置決めするマニピュレータを開発している．本研究では探針振動条件や，力覚デバイスへの信号の最適化を行うことで，銀ナノワイヤーのマニピュレーション操作の精度向上に取り組んだので報告する．