中空ステータを用いたリニア超音波モータの開発

抄録

本研究では，中空ステータを用いたリニア超音波モータの試作および評価を行った．試作したモータの大きさは，高さと幅が60 mm，厚さ（スライダの移動方向の長さ）は4.1 mmである．ステータ中央には42×42mmの穴が開いており，スライダが挿入される．ステータとスライダ間の予圧を最適化することにより，70 Vp-pで0.5 N以上の推力を得ることが出来た．これは，カメラのレンズなどを動かすには十分な力である