AF光軸傾斜法による内周輪郭測定

抄録

近年、スマートフォン用のレンズのバレル等の複雑形状の小型部品の内周輪郭測定の要求が高まっている。それらの要求に対して我々はポイントオートフォーカス法の傾斜面の測定追従性が高い特長を利用してレーザ光軸を傾斜させて測定する内周輪郭測定法を開発した。この測定法には有効な測定傾斜角度が存在し、その測定条件にて測定することにより従来測定できなかった内径数mm以下の内周の断面輪郭や円周輪郭をワークを置き直すことなくサブミクロンレベルの精度にて測定することを可能にした。本報では直径7mm以下、深さ7mm以下まで大きさの内径測定ができる対物レンズを用いて測定精度と再現性を検証した。この測定法は現在測定の需要が高まっている小型レンズバレルの内周輪郭測定にたいへん有効な測定法である。