三次元にランダムに分布する回折限界を超えた対象物の形状計測

抄録

一枚のスペックルパターンのみを使用して回折限界を超えても対象物を測定できるスペックル干渉法に基づく微細構造の形状測定方法が報告されている．しかし，ランダムに3次元に分布している微小物体の測定の可能性は明らかではなかった．標準化された直径のシリカ球を使用した実験が行われ，回折限界を超える複雑な微細構造のみならずランダムに3次元に分布した微小対象物の形状計測が可能であることを確認した．