ガラス内銀析出物と湿式エッチングを併用した新たなガラス穴加工法の提案

抄録

ガラスに添加された銀イオンを還元することで，ガラス内部に樹状の銀析出物を形成する手法がある．この銀析出物はガラス内に直径約200 nmの微細な亀裂を形成することから，銀析出したガラス内の表面積は増加する．この銀析出ガラスをフッ酸によって湿式エッチングを行ったところ，析出領域のエッチングレートが1.9 μm/minとなり，母材ガラスよりも3.3倍大きくなった．この手法を利用しガラスに直径1.16 mm，深さ0.095 mmの貫通穴を形成した．