超極細ワイヤを用いたマイクロねじ・マイクロナットの研究（第７報）

抄録

①線径が20μmの2本の超極細ワイヤを，直径0.500mmの極細ピンに密着させて巻き付け，ワイヤをピンに半田付けすることで製作したピッチ40μmのマイクロねじと，②２本の超極細ワイヤを直径0.523mmの極細ピンに密着させて巻き付けて細管に挿入し，ワイヤを細管の内側に半田付けすることで製作したピッチ40μmのマイクロナットを製作し，これらを組み合わせたマイクロ送りステージを開発した．本報では，ステージの構造・動作・位置決め精度について報告する．