タルボット効果を用いた広範囲3次元リソグラフィ（第4報）

入射光の複素振幅分布制御による構造の周期および形状制御

抄録

生態模倣材料などのナノ周期構造は周期や形状が複雑になるにつれて高機能化するため，大面積に一括加工可能かつ構造の周期や形状を制御できる作製手法が求められている．回折格子の透過光による周期的な光強度分布を利用したタルボットリソグラフィは，加工面積は広いが周期や形状の制御は困難である．そこで本報告では，回折格子への入射光の振幅と位相分布を制御することで構造の形状と周期を任意に制御可能な手法を提案する．