UVナノ秒パルスレーザ照射によるホウケイ酸ガラス内部加工のメカニズム

澤田 航輝; 比田井 洋史; 松坂 壮太; 森田 昇; 千葉 明

doi:10.11522/pscjspe.2021S.0_351

2021年度精密工学会春季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2021S.0_351

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2021年度精密工学会春季大会

開催地: オンライン開催

開催日: 2021/03/16 - 2021/03/22

UVナノ秒パルスレーザ照射によるホウケイ酸ガラス内部加工のメカニズム

*澤田航輝, 比田井洋史, 松坂壮太, 森田昇, 千葉明

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キーワード: 紫外光パルスレーザ, ホウケイ酸ガラス, エッチング, レーザ内部加工

会議録・要旨集フリー

p. 351-352

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抄録

波長266nmのナノ秒パルスレーザをその波長に対して不透明であるホウケイ酸ガラス内部に集光して照射した際，ガラス内部5mm程度の位置から表面へと加工が進展していく現象が確認された．この現象が起きるためには，レーザ照射によりガラスの吸収率が減少することが必要である．そこで，内部加工時の表面付近の透過率の変化を測定し，内部加工後の構造の変化をラマン分光やエッチング特性の変化から検討した．

責任著者(Corresponding author)

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