広視野欠陥検査装置の開発と光学分解能以下の欠陥幅の分類方法

抄録

本研究では欠陥検査装置における光学分解能以下の欠陥幅を分類する方法について述べる。光学シミュレーションから、暗視野画像の欠陥部分の光強度が開口絞りの大きさに依存し、開口絞り半径を変更することで取得した複数の暗視野画像から欠陥幅を分類できることを確認した。暗視野欠陥検査装置を開発し、スクラッチ標準とガラス基板の二つのサンプルを測定した。測定結果から実際のサンプルで欠陥幅を分類できることが確認された。