タルボット効果を用いた広範囲3次元リソグラフィ（第5報）

斜め入射光を利用した多重露光によるナノピラー構造の作製

抄録

ナノ周期構造を利用した高機能デバイスは幅広い分野で研究されており，実用化に向けて高アスペクト比なナノ周期構造の高効率な成形技術が求められる．本研究では，微細周期構造の大面積作製に適した，タルボット効果を用いたフォトリソグラフィに着目した．本報告では，斜め入射光によるタルボット効果と回折格子の回転角制御を用いた多重露光により，高アスペクト比なナノピラー構造を大面積に高速で作製する手法を提案する．