主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2021年度精密工学会春季大会
開催地: オンライン開催
開催日: 2021/03/16 - 2021/03/22
p. 789-790
自己整列させたPMMA微粒子表面にZnOナノ粒子を堆積し,これらを核とした水熱合成(結晶成長)を行ってZnO微細構造を製作し,次いでPMMAを熱分解することでZnOシェル構造を得た。微粒子整列や水熱合成の条件を整えることで,直径1μmのPMMA微粒子が密に並んだ表面に高さ2μm程度のZnOナノロッドが密に並んだ構造を得た。表面積が広くなることによりガスセンサの感度向上が図れることを明らかにした。