2022年度精密工学会秋季大会
会議情報
主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2022年度精密工学会秋季大会
開催地: オンライン開催
開催日: 2022/09/07 - 2022/09/09
微細線構造レプリカモールドを用いた低濃度離型処理時のUV-NIL転写回数の寿命予測
キーワード:
ナノインプリントリソグラフィ
p. 101-102
詳細
主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2022年度精密工学会秋季大会
開催地: オンライン開催
開催日: 2022/09/07 - 2022/09/09
p. 101-102
金型はUV-NIL転写を繰り返すと表面の離型剤が劣化し樹脂付着や欠損が生じる．L&S構造では線に沿った水の接触角（CA）と線を横切るCAがあり，2つのCAの差を利用することで、金型の離型処理の寿命を予測することが可能である．通常，離型剤の濃度は0.1%程度で用いるが，さらに低い濃度での挙動は調べられていない．本研究では100nmのL&S構造を有する低濃度離形剤処理を施したレプリカモールドを用いて寿命予測を行ったので報告する．
