短パルスレーザによる微細穴加工技術の開発とその適用事例

抄録

様々な業界で部品の小型化・高性能化に伴う高精度・高品位な微細加工ニーズに対して，従来のレーザ加工では市場のニーズに応えることが困難になっている．そこで当社では短パルスレーザを採用しレーザヘッドや制御機構など独自技術の融合により，微細レーザ加工機ABLASERを開発し高精度，高品位な微細加工を実現した．また，金属材料、セラミックスなどに対してもレーザによる微細加工が可能であることを明らかにした．