シリコン電極薄型燃料電池の開発

Au-Pd-Pt多層触媒導入に向けた燃料流路形成条件の検討

抄録

Si基板上に燃料流路と触媒層を一体成型した薄型燃料電池の開発を進めている．白金使用量削減と高CO耐性が期待されるAu多孔質をベースとしたAu-Pd-Pt多層触媒の導入を目指している．しかし，エッチングによる流路作製の際に，Au多孔質はプラズマエッチングされやすくストップ層にならず，触媒層が損傷する．そこで，フルオロカーボン保護膜を用いた触媒層の保護方法を検討し，損傷を防止できる条件を見出した．