熱応力による予圧印加機構を持つ極低温環境用圧電振動子の試作評価

抄録

極低温環境内で使用されるマイクロアクチュエータの駆動源への応用を目的として、低温環境において生じる熱応力を利用した予圧印加機構を持つ小型の圧電振動子に関する研究を行っている。予圧印加に関するモデル式に基づき、材料の熱膨張係数の違いに着目して振動子の構造・各部寸法の検討を行い、異なる寸法を持つ振動子を試作して低温環境下での性能評価を行い、アクチュエータ用振動子としての特性を明らかにした。