磁気粘弾性エラストマーの研磨パッドへの応用

抄録

磁気粘弾性エラストマーは，強磁性体粒子をエラストマー内に分散させたもので，外部磁場が作用すると，分散された強磁性体粒子の磁場相互作用により，機械的特性が変化する．本研究では，この性質に着目し，磁場によって機械的特性が変化する研磨パッドを提案する．研磨パッドの機械的特性を制御することで，工作物表面の形状を制御できる研磨パッドの開発を目指す．