磁気混合流体を用いた平面研磨における磁場と電場の相乗効果

抄録

磁性の異なるステンレス鋼の平面研磨に及ぼす電場印加の効果を調べた．磁性の小さいSUS304の場合，電場印加によって研磨除去量は大幅に増加する．しかし，磁性を持ったSUS304では，電場印加によって研磨除去量は工具の低回転数領域で低下し，特定の高回転数領域で増加が見られた．この研磨現象を磁場解析と電流特性から考察した．