X線望遠鏡用ウォルターミラーの高精度作製プロセスの開発

電鋳プロセスにおけるミラー長手方向膜厚分布の均一化

抄録

我々は、X線望遠鏡の集光素子であるミラーを独自の電鋳プロセスで作製している。高精度に加工されたミラーを実現し、望遠鏡の性能を上げるため、めっき領域に均質な電析層を施すことを目指している。そこで、電流が集中しがちな陰極端部の周囲に絶縁体を配置し、膜厚分布の均一化を試みた。本稿では、有限要素解析やミラーの実作を通して、静止液中の電析で発生するめっき液の濃度分布とその発生メカニズムについて説明する。