主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2022年度精密工学会秋季大会
開催地: オンライン開催
開催日: 2022/09/07 - 2022/09/09
p. 87-88
走査型トンネル顕微鏡(STM)と高配向性熱分解グラファイト(HOPG) を組み合わせた結晶格子スケールを用いた計測法に対して新たな補間法を提案し、STMで得られた原子像に対して提案した補間法を適用することで原子間隔以下の測定を行うための装置を開発する。また、開発した装置を用いて光干渉計の較正を行い、提案する補間法の有効性を実験的に検証する。