変動磁場利用した新しい磁気研磨法に関する研究

加工特性に及ぼす影響の検討

抄録

従来の平面磁気研磨法において，超精密仕上げに適用するときに，ミクロンサイズの微小磁性粒子を利用し，加工途中における微細粒子の凝集や，磁気ブラシが加工物と接触後，原状に戻りにくいなどの問題があった．この問題を改善するため，変動磁場を利用した超精密研磨法を提案している．本研究は，SUS304ステンレス鋼板を利用する場合の加工特性を検討した．実験の結果，本加工法により10分間の研磨実験で工作物の表面粗さを30nmRaまで仕上げられ，本加工法の有用性を示した．