硬脆材料の精密切削のための超音波振動切削法 第1報：振動特性の検討

岩井 学; 石黒 愛瑠乃; 伊東 聡; 平田 傑之; 岳 義弘; 二ノ宮 進一

doi:10.11522/pscjspe.2022S.0_379

2022年度精密工学会春季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2022S.0_379

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2022年度精密工学会春季大会

開催地: オンライン開催

開催日: 2022/03/15 - 2022/03/17

硬脆材料の精密切削のための超音波振動切削法

第1報：振動特性の検討

*岩井学, 石黒愛瑠乃, 伊東聡, 平田傑之, 岳義弘, 二ノ宮進一

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キーワード: 超音波切削, 超精密加工, 硬脆材料, ダイヤモンド工具, 除去能率

会議録・要旨集フリー

p. 379-380

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抄録

石英ガラスは光学レンズや半導体製造部品等への利用が拡大しているが，精密加工がきわめて困難である．延性モード切削法はガラス材を割れの無い滑らかな表面性状で切削できるが，切り取り厚さが小さい条件に限られており，加工能率がきわめて低い．本研究では超精密加工用に専用設計した超音波工具を適用し，加工能率の向上やダイヤモンド工具の寿命向上の実現を目的としている．本報告では超音波切削によるµmオーダーの材料除去性能を調べた．

責任著者(Corresponding author)

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