超音波援用インデンテーションによる無電解Ni-Pめっき製マイクロレンズアレイ金型の加工

抄録

高能率加工を行うために変形加工である「ナノインデンテーション」に着目し，(1)レーザ加工を応用した単結晶ダイヤモンド等のマイクロインデンテータ（圧子）を創成し，(2)超音波振動援用のナノインデンテーションシステムを開発し，(3)超音波振動を付加することによる無電解Ni-Pなどのアモルファス金属材料の高精度・高能率塑性変形メカニズムを解明し，加工条件を最適化し，(4)微細で構造的な超精密形状の創成の高精度・高能率加工を実現することを提案し，実施した．