精密工学会学術講演会講演論文集
2022年度精密工学会春季大会
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超音波援用インデンテーションによる無電解Ni-Pめっき製マイクロレンズアレイ金型の加工
後藤 晃酒井 達広鈴木 浩文由井 明紀中川 恒裕
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p. 477-478

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抄録

高能率加工を行うために変形加工である「ナノインデンテーション」に着目し,(1)レーザ加工を応用した単結晶ダイヤモンド等のマイクロインデンテータ(圧子)を創成し,(2)超音波振動援用のナノインデンテーションシステムを開発し,(3)超音波振動を付加することによる無電解Ni-Pなどのアモルファス金属材料の高精度・高能率塑性変形メカニズムを解明し,加工条件を最適化し,(4)微細で構造的な超精密形状の創成の高精度・高能率加工を実現することを提案し,実施した.

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© 2022 公益社団法人 精密工学会
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