プラズマによる表面改質とその応用

抄録

プラズマ放電による金属板の表面改質をすることを目的として、本研究ではプラズマ発生用電源を用いて、+極側にW電極棒およびCu電極棒、-極側にSUS板およびCu板を使用して水道水中でプラズマ放電の実験を行った。その後、-極側のSUS板およびCu板をSEMを使用し、分析を行った。その結果、-極側の平板にわずかに+極側の電極材の付着が確認された。